大型導通ガラス・ガラスサブストレート
抵抗値の低い銅をガラス上にパターニングした、大型ガラス導通材を開発しました。
最大730mm×920mmの大型ガラス加工が可能で、各種装置用の大型配線基板や大面積の各種ガラスセンサーなど、さまざまな用途への展開が期待されます。
特長
- 抵抗値の低い銅を用いてガラス基板上にパターニング
- 大型ガラス加工に対応
→ 最大730mm×920mmに対応可能
層構成
仕様・ラインアップ
ガラスサイズ
| 面積 | 730×920mm | 620×750mm | 680×880mm |
|---|
| 厚み | 0.5mm | 0.7mm |
|---|
1層目配線
| 銅厚 | 0.30μm |
|---|---|
| シート抵抗値 | 0.1Ω/□ |
| 解像性（L/S） | 10μm/10μm |
2層目配線
| 銅厚 | 0.30μm |
|---|---|
| シート抵抗値 | 0.1Ω/□ |
| 解像性（L/S） | 10μm/10μm |
| 層間膜（アクリル樹脂）厚 | 1.0～2.5μm |
| 層間膜ホール径 | 20μm |
配線パターンイメージ（SEM画像）
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Cuライン：10～15μm
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Cu丸形状：10μm
- お客さまのご要望により、線幅や銅厚の調整等も可能です。