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半導体関連製品のご紹介|エッチング応用製品 エッチング製品の製造工程

エッチングプロセスライン

金属(メタル)エッチングの製造工程

  • 1)材料

    • 用途に合わせた材料を使用します。
  • 2)レジストコート

    • 材料を整面(洗浄)して、フォトレジストをコートします。
      (フォトレジスト・ドライフィルム)
  • 3)露光(焼付け)

    • パターニングしたマスク原版を使用して、紫外線を照射しパターンを焼き付けます。
  • 4)現像

    • 硬化していないレジストを除去します。
      (原版のパターンを現像)
  • 5)エッチング

    • 不要な部分(レジストが除去された部分)をエッチングで除去します。
  • 6)剥離

    • フォトレジストを剥離・洗浄します。

金属複合フィルムエッチングの製造工程

  • 1)材料

    • 用途に合わせた材料を使用します。
  • 2)ラミネート

    • フィルム基材に金属をラミネートします。
  • 3)レジストコート

    • 材料を整面(洗浄)して、フォトレジストをコートします。
      (フォトレジスト・ドライフィルム)
  • 4)露光(焼付け)

    • パターニングしたマスク原版を使用して、紫外線を照射しパターンを焼き付けます。
  • 5)現像

    • 硬化していないレジストを除去します。
      (原版のパターンを現像)
  • 6)エッチング

    • 不要な部分(レジストが除去された部分)をエッチングで除去します。
  • 7)剥離

    • フォトレジストを剥離・洗浄します。
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