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ディスプレイ関連製品のご紹介 有機EL用メタルマスク

低分子有機ELディスプレイのRGBおよび電極を蒸着するための金属メタルマスクです。
スマートフォンを中心に有機ELディスプレイの採用が拡大、さらなる高精細化や大型化の市場要求に対し、トッパンは長年培ってきた超微細エッチング加工技術を駆使して技術開発を進めています。

【スロットタイプ】

【スリットタイプ】

有機EL用メタルマスク

低分子有機ELディスプレイの蒸着プロセス

【SEM写真 テーパー形状例】

主な仕様

仕様 表

材料板厚

0.030~0.200mm(t)

ピッチ精度

±0.005mm/板厚0.030mm(t)、470×700mm面内

開口精度

±0.003mm/板厚0.030mm(t)

最小開口幅

0.030mm/板厚0.030mm(t)
0.050mm/板厚0.050mm(t)

その他

テンション貼り合わせ加工、枠への貼り合せ加工

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