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ディスプレイ関連製品のご紹介 ディスプレイ用大型フォトマスク

カラーフィルタのパターン形成に使用する大型フォトマスクです。
ディスプレイの高精細化や大型化にともない、フォトマスクに高い精度が求められています。
トッパンは半導体用フォトマスクで培ってきた超微細加工技術を駆使し、高精細で信頼性の高いディスプレイ用大型フォトマスクを製造・販売しています。

ディスプレイ用大型フォトマスク

【第8世代向け大型フォトマスク】

フォトマスクの種類

バイナリーマスク

単純に光を透過する/遮断するという機能のみのマスクで、主として露光波長以上の太さのパターン形成に用いられます。

ハーフトーンマスク

光量透過を制御することで、3次元構造を形成することが可能です。グレースケールマスクあるいは3Dマスクとも呼ばれています。

主な仕様

■マスクサイズ

228.6mm×228.6mm ~ 1220.0mm×1400.0mm

■受入データフォーマット

GDSデータ、GBRデータほか、図面支給でも対応可能

■ビーム径

0.50μm、0.75μm

■基材ほか

合成石英、ソーダライムガラス 板厚:3~13mm(t)
ペリクル対応可能

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