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ディスプレイ関連製品のご紹介|ディスプレイ用カラーフィルタ カラーフィルタの製造工程

カラーフィルタ工程は、ディスプレイパネルの製造工程の1つです。

カラーフィルタ工程 図

カラーフィルタの製造工程

カラーフィルタの製造方法は多数存在しますが、顔料をベースとしたカラーレジストをガラス上に塗布し、露光や現像を伴うフォトリソグラフィ(フォトリソ)法が現在の主流です。フォトリソによる製造工程は次の通りです。

1.ブラックマトリクス形成(低反射クロム、樹脂)

ブラックマトリクス形成(低反射クロム、樹脂)

バックライトの光もれやRGBの混色防止のために、最初にブラックマトリクスを形成します。

2.カラーレジスト塗布

カラーレジスト塗布

ガラス基板全面に、カラーレジストを塗布します。

3.露光

露光

フォトマスクを介してパターン露光してUV硬化し、不溶化させます。

ディスプレイ用大型フォトマスクへ

4.現像・ベーキング

現像・ベーキング

現像液によりカラーレジストの不要な部分を除去したあと、ベークにて硬化させます。

★「2~4」の繰り返し

「2~4」の繰り返し

「カラーレジスト塗布」「露光」「現像・ベーキング」工程をRGB3色繰り返します。

5.ITO膜形成

ITO膜形成

スパッタリング法を用いてITO(透明導電)膜を形成します。

6.PS工程

PS工程

2枚のガラス(カラーフィルタとTFTアレイ)のセルギャップをより高度に制御して画質の向上を図るため、フォトスペーサー(PS)を形成します。

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